トップページ> 製品案内> マスキング用装置                                                        お問合せ

○サンドブラスト用ドライフィルムパターニング装置/スクリーン印刷機

 精密サンドブラスト加工(マイクロブラスト加工)で加工基板にマスキングを行う装置

 ● ラミネータ
   サンドブラスト用ドライフィルムを基板に貼り付けるためのラミネータ
   特徴
 薄膜の脆性材料に対応
   薄膜の脆性材料でも割れること無く、ラミネートが可能

 丸形状で厚みのあるセラミック板に対応
   ピンチャック等の厚みのあるセラミックでも、ラミネート可能

 ドライフィルムの最初から無駄なくラミネート可能
   ドライフィルムを切った状態から自動でラミネートを行い、 無駄なくドライフィルム
   を使用可能
 
 ● 露光機
   サンドブラスト用ドライフィルムや感光性液状レジストにパターン露光を行う。
   特徴
  位置合わせ機能搭載
   CCDカメラとモニターを使用して製品とパターンマスクの位置合わせが可能

 30μmの微細パターン形成が可能
   高圧ミスト現像機との組み合わせで50μmのドライフィルムを使用して30μmの
   パターン形成が可能(高性能ロッドインテグレータ採用)
 
 ● 現像機
   サンドブラスト用ドライフィルムの現像を行う。
  特徴
 薄板から厚板まで均一な現像が可能。
  サンドブラスト加工用に開発した現像機で、薄板から厚板までの脆性材料の現像が可能。

 微細なパターンのパターン形成が可能
  高圧ミスト式現像機を使用することにより、30μmラインのパターン形成が可能。
 
 ● スクリーン印刷機
   サンドブラスト用レジストインクを基材にパターン印刷を行う。
  特徴 
  精度の高いスクリーン印刷が可能
  スクリーン版を伸ばす事無く印刷するため、精度の高い印刷が可能

 サンドブラスト耐性の高いレジスト形成が可能
  専用サンドブラスト用レジストインクを使用し、高い耐サンドブラスト耐性のある
  レジスト膜を形成可能

  

 ● マイクロブラスト加工(微細サンドブラストパターン加工)のプロセス

 マイクロブラスト加工プロセス図   ラミネート
  サンドブラスト用ドライフィルムをラミネータを使用
  して加工基板に貼り付ける。
  ラミネータの圧力や基板の温度を調整して行う。
   露光
  ラミネータにてドライフィルムを貼り付けた基板上に
  パターンマスクを乗せて、紫外線にて露光を行う。
  現像
  シャワーにて0.3%の炭酸ナトリウム水溶液を吹きつけ
  紫外線により硬化していない部分を洗い出す。 
  マイクロブラスト加工(微細サンドブラスト加工)
  ノズルから研磨材を吹き付けて基板の切削加工を行う。
  サンドブラスト用ドライフィルムによりマスキングされてい
  ない部分が削れる。
  ドライフィルム剥離
  モノエタノールアミンや水酸化ナトリウム水溶液等の剥離
  液を使用して基板からドライフィルムを剥離する。